А中文在线天堂,92av在线,色一情一伦一区二区三,无码国产精品一区二区高潮

13311665350

新聞資訊

NEWS INFORMATION

當(dāng)前位置:首頁新聞資訊淺析PECVD系統(tǒng)的工藝原理

淺析PECVD系統(tǒng)的工藝原理

點擊次數(shù):1371
   PECVD系統(tǒng)主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護系統(tǒng)、計算機控制等部分組成。該技術(shù)是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。
  
  工藝原理:
  在反應(yīng)過程中,反應(yīng)氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。
  
  薄膜制備工藝在超大規(guī)模集成電路技術(shù)中有著非常廣泛的應(yīng)用,按照其成膜方法可分為兩大類:物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)。等離子增強型化學(xué)氣相淀積(PECVD)是化學(xué)氣相淀積的一種,其淀積溫度低是它突出的優(yōu)點。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及臺階覆蓋性,正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
  
  PECVD系統(tǒng)是一門復(fù)雜的工藝,要保證淀積薄膜的質(zhì)量,除了要保證設(shè)備的穩(wěn)定性外,還必須掌握和精通其工藝原理及影響薄膜質(zhì)量的各種因素,以便在出現(xiàn)故障時,能迅速分析出導(dǎo)致故障的原因。另外,對設(shè)備的日常維護和保養(yǎng)也非常重要。

關(guān)注微信號

移動端瀏覽
熱線電話:13311665350

Copyright © 2024上海皓越真空設(shè)備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備2022033023號-1

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml    總訪問量:588406

无遮挡中文毛片免费观看| 亚洲色图10p| 在线观看日韩精品| www亚洲天堂| 国产精品合集久久久久青苹果| AV亚洲产国偷V产偷V自拍| 国产偷窥自拍视频| 被调教的少妇雅芳1一19| 正宗水蜜桃14305| 真实露脸国产乱子视频hd| 91自拍视频网| 天天噜天天射| 两女女百合互慰AV赤裸无遮挡| 国产精品爆乳尤物99精品| 日本高清在线3344www| 人妻激情偷乱视频一区二区三区| a毛片a毛片a视频| 精品视频在线免费| 特级毛片永久久免费观看| 91视频久久久久| 护士扒下内裤让我爽一夜| 国产99久9在线| 婷婷综合小说| 99久久精品国产国产毛片| 成人一区二区| 久久久久久久精品国产亚洲87| 亚洲天堂福利视频| 2021国产麻豆剧传媒仙踪林| 精品国产乱码久久久久久上海公司| 美国一级毛片oo| 一级一片一a一片| 中文字幕精品一区二区2021年| 亚洲AV综合色区无码一二三区| 九九热在线免费| 快穿之后被各种被强H| 欧美变态口味重另类在线视频| 少妇又紧又色又爽又刺激视频| 国产三级不卡| 亚洲欧美日韩在线中文字幕| 激情一区二区三区成人| 久草91视频|