А中文在线天堂,92av在线,色一情一伦一区二区三,无码国产精品一区二区高潮

13311665350

新聞資訊

NEWS INFORMATION

當(dāng)前位置:首頁新聞資訊淺析PECVD系統(tǒng)的工藝原理

淺析PECVD系統(tǒng)的工藝原理

點擊次數(shù):1371
   PECVD系統(tǒng)主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護系統(tǒng)、計算機控制等部分組成。該技術(shù)是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。
  
  工藝原理:
  在反應(yīng)過程中,反應(yīng)氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。
  
  薄膜制備工藝在超大規(guī)模集成電路技術(shù)中有著非常廣泛的應(yīng)用,按照其成膜方法可分為兩大類:物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)。等離子增強型化學(xué)氣相淀積(PECVD)是化學(xué)氣相淀積的一種,其淀積溫度低是它突出的優(yōu)點。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及臺階覆蓋性,正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
  
  PECVD系統(tǒng)是一門復(fù)雜的工藝,要保證淀積薄膜的質(zhì)量,除了要保證設(shè)備的穩(wěn)定性外,還必須掌握和精通其工藝原理及影響薄膜質(zhì)量的各種因素,以便在出現(xiàn)故障時,能迅速分析出導(dǎo)致故障的原因。另外,對設(shè)備的日常維護和保養(yǎng)也非常重要。

關(guān)注微信號

移動端瀏覽
熱線電話:13311665350

Copyright © 2024上海皓越真空設(shè)備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備2022033023號-1

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml    總訪問量:588406

人妻精油按摩BD高清中文字幕| 大龟慢慢挺进张娟的体| 国产在线永久视频| 91视在线国内在线播放酒店| 国产美女精品三级在线观看| 久久久久久精品一区二区三区四区| 亚洲色图欧美偷拍| 国产小视频精品| 国产在线观看www| 国产区香蕉精品系列在线观看不卡| 亚洲精品久久久久无码精品| 欧美日韩一区二区三区在线播放| 亚洲欧美日韩精品久久亚洲区| 免费视频精品一区二区三区| 日韩欧美亚洲国产精品字幕久久久| 亚洲欧美日韩精品久久亚洲区| 浪荡女的被CAO日常NP| 欧美在线观看不卡| 久久综合九色综合欧美狠狠| 怀孕高潮潮喷大肚子孕妇| 国产乱对白刺激视频| 欧美与黑人午夜性猛交久久久| 日本无码视频在线观看| 少妇扒开粉嫩小泬视频| 麻豆国产AV超爽剧情系列| 乱人伦人妻精品一区二区| 天天操天天干天天插| 富婆性俱乐部纵欲狂| 国产精品露脸国语对白河北| 国产成人综合久久精品亚洲| 三级男人添奶爽爽爽视频| 91在线电影| 男女啪啪做爰高潮40分钟| 久久久久久A亚洲欧洲AV冫| 日本一区免费电影| 老师的兔子好多软水好多动漫| 老熟妇仑乱视频一区二区| 亚洲系列国产系列| 国产成人精品免费直播| 日韩av线上| 国内精品露脸在线视频播放|